上海大学-上海微电子装备（集团）联培基地，是上海大学微电子学院、机电工程与自动化学院及力学与工程科学学院，与上海微电子装备（集团）公司等集成电路产业关键企业合作建设的产教融合人才培养基地。基地旨在面向集成电路先导产业和泛摩尔技术领域关键技术攻关重大需求，协同攻关产业卡脖子关键技术。重点关注光刻机关键零部件和相关技术，聚焦高端光刻机光源技术、计算光刻和仿真技术、磁流变抛光和高端深紫外光刻机镜头加工技术等方向。上海大学已与上海微电子装备（集团）签署战略合作协议，双方共建先进光刻装备联合实验室，2024年驻企联培研究生10名。

上海微电子装备(集团)股份有限公司是一家高科技股份有限公司，成立于2002年3月，总部位于中国上海。自“十五”期间起，上海微电子装备(集团)股份有限公司承担了多个国家IC前道光刻机研制专项任务，并在专项技术的辐射下，根据半导体产业、泛半导体产业和信息技术发展趋势与市场需求全面布局，开发了一系列高端装备，是国内唯一具备制造多领域、多品种产线应用的高端光刻机供应商。公司先后被评为国家级企业技术中心、国家技术创新示范企业、“国家光刻设备工程技术研究中心”的依托单位。